ISO 18114:2003 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de factores de sensibilidad relativa a partir de materiales de referencia implantados con iones
Esta norma internacional especifica un método para determinar factores de sensibilidad relativa (RSF) para espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS) a partir de materiales de referencia implantados con iones. El método es aplicable a muestras en las que la matriz tiene una composición química uniforme y en las que la concentración máxima de las especies implantadas no supera el uno por ciento atómico.
ISO 18114:2003 Documento de referencia
ISO 18115 Análisis químico de superficies - Vocabulario; Enmienda 2*, 2007-12-01 Actualizar
ISO 18114:2003 Historia
2021ISO 18114:2021 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de factores de sensibilidad relativa a partir de materiales de referencia implantados con iones
2003ISO 18114:2003 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de factores de sensibilidad relativa a partir de materiales de referencia implantados con iones