DIN 32567-5:2015 Equipos de producción para microsistemas. Determinación de la influencia de los materiales en la metrología dimensional óptica y táctil. Parte 5: Derivación de valores de corrección para dispositivos de medición ópticos. normas y especificaciones

Estándar No.: DIN 32567-5:2015
Fecha de publicación: 2015
Organización: German Institute for Standardization
Estado
Remplazado por: DIN 32567-5:2015-06
Ultima versión: DIN 32567-5:2015-06
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DIN EN ISO 25178-603:2014 Especificaciones geométricas de producto (GPS) - Textura de la superficie: Areal - Parte 603: Características nominales de instrumentos sin contacto (microscopía interferométrica de cambio de fase) (ISO 25178-603:2013); Versión alemana EN ISO 25178-603:2013
DIN EN ISO 25178-604:2013 Especificación geométrica del producto (GPS) - Textura de la superficie: Areal - Parte 604: Características nominales de los instrumentos sin contacto (interferometría de barrido de coherencia) (ISO 25178-604:2013); Versión alemana EN ISO 25178-604:2013
DIN EN ISO 25178-605:2014 Especificaciones geométricas del producto (GPS) - Textura de la superficie: Areal - Parte 605: Características nominales de los instrumentos sin contacto (sonda puntual de enfoque automático) (ISO 25178-605:2014); Versión alemana EN ISO 25178-605:2014
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1970 DIN 32567-5 E:2014-11
0000 DIN 32567-5:2014

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