GB/T 14851-1993
Gas para la industria electrónica. Fosfina (Versión en inglés)
- Estándar No.
- GB/T 14851-1993
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 1993
- Organización
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Estado
- 2010-05
- Remplazado por
- GB/T 14851-2009
- Ultima versión
- GB/T 14851-2009
- Alcance
- Esta norma especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, requisitos de seguridad, embalaje, marcado, transporte y almacenamiento de productos de fosfina. Esta norma es aplicable a los productos de fosfina obtenidos por descomposición térmica de ácido fosforoso, hidrólisis de fosfuro, reacción de fósforo elemental con agua o álcali y refinado. Se utiliza principalmente para epitaxia, implantación de iones y dopaje en la producción de dispositivos semiconductores y circuitos integrados. La fosfina es un gas incoloro, inflamable y altamente tóxico, con olor a pescado podrido, que puede encenderse espontáneamente en altas concentraciones en el aire. Fórmula molecular: PH3 Masa molecular relativa: 33,9975 (según el peso atómico internacional en 1989)
GB/T 14851-1993 Historia
- 2009 GB/T 14851-2009 Gas para la industria electrónica. Fosfina
- 1993 GB/T 14851-1993 Gas para la industria electrónica. Fosfina
