Esta norma especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, embalaje, marcado, almacenamiento, transporte y seguridad de la fosfina utilizada en la industria electrónica. Esta norma es aplicable a los productos de fosfina obtenidos por descomposición térmica de ácido fosforoso, hidrólisis de fosfuro, reacción de fósforo elemental con agua o álcali y refinado. Se utiliza principalmente para epitaxia, implantación de iones y dopaje en la producción de dispositivos semiconductores y circuitos integrados.
GB/T 14851-2009 Documento de referencia
GB 14193-2009 Reglas para el llenado de cilindros de gas licuado.
GB 190-2009 Símbolo de embalaje de mercancías peligrosas.
GB 5099-1994 Cilindros de gas de acero sin costura
GB 7144-1999 Marca de cilindro de color para gases.
GB/T 3723-1999 Muestreo de productos químicos de uso industrial--Seguridad en el muestreo
GB/T 8984-2008 Determinación de monóxido de carbono, dióxido de carbono e hidrocarburos en gases. Método cromatográfico de gases
GB/T 14851-2009 Historia
2009GB/T 14851-2009 Gas para la industria electrónica. Fosfina
1993GB/T 14851-1993 Gas para la industria electrónica. Fosfina