Esta norma especifica el método de medición para la variación radial del contenido de oxígeno intersticial en cristales de silicio. Esta norma es aplicable a la medición de la variación radial del contenido de oxígeno intersticial en cristales de silicio con resistividad a temperatura ambiente superior a 0,1Ω·cm. El rango de medición es desde 3,5×1015at·cm3 hasta la máxima solubilidad sólida del oxígeno intersticial en silicio.
GB/T 14144-1993 Historia
2009GB/T 14144-2009 Método de prueba para la determinación de la variación radial del oxígeno intersticial en silicio.
1993GB/T 14144-1993 Método de prueba para la determinación de la variación radial del oxígeno intersticial en silicio.