GB/T 14143-1993
Método de medición de la absorción infrarroja del contenido de oxígeno en el espacio de una oblea de silicio de 300-900 μm (Versión en inglés)
- Estándar No.
- GB/T 14143-1993
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 1993
- Organización
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Estado
- 2006-11
- Remplazado por
- GB/T 1557-2006
- Ultima versión
- GB/T 1557-2018
- Alcance
- Esta norma especifica el método para medir el contenido de oxígeno en el espacio intersticial de obleas de silicio con un espesor de 300 a 900 μm mediante el método de absorción infrarroja. Esta norma es aplicable a la medición del contenido de oxígeno en el espacio entre obleas de silicio con una resistividad a temperatura ambiente superior a 0,1Ω·cm. El rango de medición es desde 3×1016atcm-3 hasta la máxima solubilidad sólida del oxígeno intersticial en silicio.
GB/T 14143-1993 Historia
- 2018 GB/T 1557-2018 Método de prueba para determinar el contenido de oxígeno intersticial en silicio mediante absorción infrarroja.
- 2006 GB/T 1557-2006 El método para determinar el contenido de oxígeno intersticial en silicio mediante absorción infrarroja.
- 1993 GB/T 14143-1993 Método de medición de la absorción infrarroja del contenido de oxígeno en el espacio de una oblea de silicio de 300-900 μm
GB/T 14143-1993 Método de medición de la absorción infrarroja del contenido de oxígeno en el espacio de una oblea de silicio de 300-900 μm ha sido cambiado a GB/T 1557-2006 El método para determinar el contenido de oxígeno intersticial en silicio mediante absorción infrarroja..
