GB/T 32189-2015 (Versión en inglés)

Estándar No.: GB/T 32189-2015
Idiomas: Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación: 2016
Organización: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión: GB/T 32189-2015

Alcance: Esta norma especifica el método para probar la rugosidad de la superficie del sustrato monocristalino químicamente a largo plazo mediante un microscopio de fuerza atómica. Esta norma se aplica a sustratos homogéneos nitrurados cultivados mediante deposición química de vapor y otros métodos con una rugosidad superficial inferior a 10 nm. Otros sustratos semiconductores de un solo producto con estructura superficial similar se probarán mediante los métodos proporcionados en esta norma, y ambas partes de la prueba llegarán a un acuerdo mediante negociación.

GB/T 32189-2015 Documento de referencia

GB/T 14264 Materiales semiconductores-Términos y definiciones
GB/T 27760 Método de prueba para calibrar el aumento z de un microscopio de fuerza atómica a niveles de desplazamiento subnanométricos utilizando pasos monoatómicos de Si(111)
GB/T 3505 Especificaciones geométricas de productos (GPS). Textura de la superficie: método de perfil. Términos, definiciones y parámetros de textura de la superficie.
JJF 1351 Especificación de calibración para microscopios de sonda de barrido

2016 GB/T 32189-2015 Examen de microscopía de fuerza atómica de la rugosidad de la superficie del sustrato monocristalino de nitruro de galio