Esta norma se aplica a la determinación del espesor de la capa epitaxial de arseniuro de galio. El espesor medible es superior a 2 μm. Se requiere que la resistividad del sustrato sea inferior a 0,02 Ω·cm y la resistividad de la capa epitaxial sea superior a 0,1 Ω·cm.
GB/T 8758-1988 Historia
2006GB/T 8758-2006 Medición del espesor de capas epitaxiales de arseniuro de galio mediante interferencia infrarroja
1988GB/T 8758-1988 Medición del espesor de capas epitaxiales de arseniuro de galio mediante interferencia infrarroja