Esta norma se aplica a la medición del espesor de la capa epitaxial de arseniuro de galio, y el espesor medido es superior a 2 μm. Se requiere que la electronegatividad del material del sustrato sea inferior a 0,02 Ω·cm y la electronegatividad de la capa epitaxial sea superior a 0,1 Ω·cm.
GB/T 8758-2006 Historia
2006GB/T 8758-2006 Medición del espesor de capas epitaxiales de arseniuro de galio mediante interferencia infrarroja
1988GB/T 8758-1988 Medición del espesor de capas epitaxiales de arseniuro de galio mediante interferencia infrarroja