GB/T 31227-2014
Método de prueba para la rugosidad de la superficie mediante microscopio de fuerza atómica para películas delgadas pulverizadas (Versión en inglés)

Estándar No.

GB/T 31227-2014

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2014

Organización

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Ultima versión

GB/T 31227-2014

Alcance

Esta norma especifica un método para medir la rugosidad de la superficie utilizando un microscopio de fuerza atómica (AFM). Esta norma es aplicable a la medición de películas delgadas producidas mediante el método de formación de películas por pulverización catódica con una rugosidad promedio Ra inferior a 100 nm. La medición de la rugosidad de la superficie de otras películas no pulverizadas puede referirse a este método.

GB/T 31227-2014 Documento de referencia

• GB/T 27760-2011 Método de prueba para calibrar el aumento z de un microscopio de fuerza atómica a niveles de desplazamiento subnanométricos utilizando pasos monoatómicos de Si(111)

GB/T 31227-2014 Historia

• 2014 GB/T 31227-2014 Método de prueba para la rugosidad de la superficie mediante microscopio de fuerza atómica para películas delgadas pulverizadas