GB/T 30701-2014 (Versión en inglés)

Estándar No.: GB/T 30701-2014
Idiomas: Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación: 2014
Organización: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión: GB/T 30701-2014

Alcance: Esta norma especifica el método de recolección química (método de descomposición en fase gaseosa o método de descomposición directa en gotas ácidas) y la determinación por espectrometría de fluorescencia de rayos X de reflexión total (TXRF) de los elementos superficiales hierro y/o níquel en la superficie de muestras estándar de trabajo de oblea de silicio. Esta norma es aplicable al hierro y/o níquel cuya densidad superficial atómica está en el rango de 6×109 átomos/cm2~5×1011 átomos/cm2.

GB/T 30701-2014 Documento de referencia

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ISO 14644-1:1999 Salas blancas y ambientes controlados asociados - Parte 1: Clasificación de la limpieza del aire
ISO 14706:2000 Análisis químico de superficies: determinación de la contaminación elemental de la superficie en obleas de silicio mediante espectroscopía de fluorescencia de rayos X de reflexión total (TXRF)

2014 GB/T 30701-2014 Análisis químico de superficies. Métodos químicos para la recolección de elementos de la superficie de materiales de referencia de trabajo de obleas de silicio y su determinación mediante espectroscopía de fluorescencia de rayos X de reflexión total (TXRF).