ISO 16413:2013
Evaluación del espesor, densidad y ancho de la interfaz de películas delgadas mediante reflectometría de rayos X: requisitos instrumentales, alineación y posicionamiento, recopilación de datos, análisis de datos e informes.
- Estándar No.
- ISO 16413:2013
- Fecha de publicación
- 2013
- Organización
- International Organization for Standardization (ISO)
- Estado
- Remplazado por
- ISO 16413:2020
- Ultima versión
- ISO 16413:2020
ISO 16413:2013 Historia
- 2020 ISO 16413:2020 Evaluación del espesor, la densidad y el ancho de la interfaz de películas delgadas mediante reflectometría de rayos X. Requisitos instrumentales, alineación y posicionamiento, recopilación de datos, análisis de datos e informes.
- 2013 ISO 16413:2013 Evaluación del espesor, densidad y ancho de la interfaz de películas delgadas mediante reflectometría de rayos X: requisitos instrumentales, alineación y posicionamiento, recopilación de datos, análisis de datos e informes.
