ISO 16413:2020 Evaluación del espesor, la densidad y el ancho de la interfaz de películas delgadas mediante reflectometría de rayos X. Requisitos instrumentales, alineación y posicionamiento, recopilación de datos, análisis de datos e informes. normas y especificaciones

Estándar No.: ISO 16413:2020
Fecha de publicación: 2020
Organización: International Organization for Standardization (ISO)
Ultima versión: ISO 16413:2020

Alcance: Este documento especifica un método para la evaluación del espesor, densidad y ancho de interfaz de películas delgadas de una sola capa y multicapa que tienen espesores entre aproximadamente 1 nm y 1 μm, sobre sustratos planos, mediante reflectometría de rayos X (XRR). Este método utiliza un haz colimado monocromático, que escanea un ángulo o un vector de dispersión. Se aplican consideraciones similares al caso de un haz convergente con recolección de datos en paralelo utilizando un detector distribuido o al escaneo de longitudes de onda, pero estos métodos no se describen aquí. Si bien se menciona el XRR difuso y los requisitos para los experimentos son similares, esto no se trata en el presente documento. Las mediciones se pueden realizar en equipos de diversas configuraciones, desde instrumentos de laboratorio hasta reflectómetros en líneas de radiación sincrotrón o sistemas automatizados utilizados en la industria. Se debe prestar atención a una eventual inestabilidad de las capas durante la recolección de datos, lo que causaría una reducción en la precisión de los resultados de la medición. Dado que la XRR, realizada en una sola longitud de onda, no proporciona información química sobre las capas, se debe prestar atención a la posible contaminación o reacciones en la superficie de la muestra. La precisión de los resultados para la capa más exterior está fuertemente influenciada por cualquier cambio en la superficie. NOTA 1 Las técnicas patentadas no se describen en este documento.

ISO 16413:2020 Historia

2020 ISO 16413:2020 Evaluación del espesor, la densidad y el ancho de la interfaz de películas delgadas mediante reflectometría de rayos X. Requisitos instrumentales, alineación y posicionamiento, recopilación de datos, análisis de datos e informes.
2013 ISO 16413:2013 Evaluación del espesor, densidad y ancho de la interfaz de películas delgadas mediante reflectometría de rayos X: requisitos instrumentales, alineación y posicionamiento, recopilación de datos, análisis de datos e informes.

ISO 16413:2020Evaluación del espesor, la densidad y el ancho de la interfaz de películas delgadas mediante reflectometría de rayos X. Requisitos instrumentales, alineación y posicionamiento, recopilación de datos, análisis de datos e informes.

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ISO 16413:2020
Evaluación del espesor, la densidad y el ancho de la interfaz de películas delgadas mediante reflectometría de rayos X. Requisitos instrumentales, alineación y posicionamiento, recopilación de datos, análisis de datos e informes.