ASTM E995-11
Guía estándar para técnicas de sustracción de fondo en espectroscopia electrónica de Auger y espectroscopia fotoelectrónica de rayos X

Estándar No.

ASTM E995-11

Fecha de publicación

2011

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM E995-16

Ultima versión

ASTM E995-16

Alcance

Las técnicas de sustracción de fondo en AES se emplearon originalmente como un método de mejora de las señales Auger relativamente débiles para distinguirlas del fondo que varía lentamente de electrones secundarios y retrodispersados. El interés en obtener información útil a partir de la forma de la línea del pico Auger, la preocupación por una mayor precisión cuantitativa de los espectros Auger y las mejoras en las técnicas de recopilación de datos han llevado al desarrollo de varias técnicas de sustracción de fondo. De manera similar, el uso de técnicas de sustracción de fondo en XPS ha evolucionado principalmente a partir del interés en la determinación de estados químicos (a partir de los valores de energía de unión para los picos de los componentes que a menudo pueden superponerse), una mayor precisión cuantitativa de los espectros de XPS y mejoras en los datos. adquisición. La resta de fondo posterior a la adquisición normalmente se aplica a los datos XPS. Los procedimientos descritos en la Sección 7 son populares en XPS y AES; Los procedimientos menos populares y los procedimientos raramente utilizados se describen en las Secciones 8 y 9, respectivamente. Se han publicado revisiones generales de métodos de resta de fondo y técnicas de ajuste de curvas (1-5). La resta de fondo generalmente se realiza antes del ajuste de picos. Algunos sistemas comerciales requieren la eliminación del fondo. Sin embargo, una región espectral medida que consta de uno o más picos e intensidades de fondo debido a la dispersión inelástica, Bremsstrahlung (para XPS con fuentes de rayos X no monocromáticas) y electrones primarios dispersos (para AES) a menudo se puede representar satisfactoriamente eligiendo funciones para cada uno. componente de intensidad con parámetros para cada componente determinados en un único ajuste de mínimos cuadrados. La elección del fondo que se eliminará si es necesario o se desea antes del ajuste del pico se sugiere según la experiencia de los analistas y la complejidad del pico, como se señaló anteriormente. 1.1 El propósito de esta guía es familiarizar al analista con las principales técnicas de resta de fondo actualmente en uso. uso junto con la naturaleza de su aplicación a la adquisición y manipulación de datos. 1.2 Esta guía está destinada a aplicarse a la resta de fondo en espectroscopia de electrones Auger (AES) y de rayos X excitados por iones, y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X (XPS). 1.3 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse estándar. No se incluyen otras unidades de medida en esta norma. 1.4 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM E995-11 Documento de referencia

• ASTM E673 Terminología estándar relacionada con el análisis de superficies

ASTM E995-11 Historia

• 2016 ASTM E995-16 Guía estándar para técnicas de sustracción de fondo en espectroscopia electrónica de Auger y espectroscopia fotoelectrónica de rayos X
• 2011 ASTM E995-11 Guía estándar para técnicas de sustracción de fondo en espectroscopia electrónica de Auger y espectroscopia fotoelectrónica de rayos X
• 2004 ASTM E995-04 Guía estándar para técnicas de sustracción de fondo en espectroscopia electrónica de Auger y espectroscopia fotoelectrónica de rayos X
• 1997 ASTM E995-97 Guía estándar para técnicas de sustracción de fondo en espectroscopía de fotoelectrones de rayos X y electrones Auger