ASTM F1238-95(2011)
Especificación estándar para objetivos de pulverización catódica de siliciuro refractario para aplicaciones microelectrónicas
- Estándar No.
- ASTM F1238-95(2011)
- Fecha de publicación
- 1995
- Organización
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Ultima versión
- ASTM F1238-95(2011)
- Alcance
- 1.1 Esta especificación cubre objetivos de pulverización catódica fabricados a partir de siliciuros metálicos (siliciuro de molibdeno, siliciuro de tantalio, siliciuro de titanio y siliciuro de tungsteno). Estos objetivos se conocen como objetivos de siliciuro refractarios y están destinados a su uso en aplicaciones microelectrónicas. 1.2 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse estándar. No se incluyen otras unidades de medida en esta norma.
ASTM F1238-95(2011) Historia
- 1995 ASTM F1238-95(2011) Especificación estándar para objetivos de pulverización catódica de siliciuro refractario para aplicaciones microelectrónicas
- 1995 ASTM F1238-95(2003) Especificación estándar para objetivos de pulverización catódica de siliciuro refractario para aplicaciones microelectrónicas
- 1995 ASTM F1238-95(1999) Especificación estándar para objetivos de pulverización catódica de siliciuro refractario para aplicaciones microelectrónicas
