ASTM F1467-99(2005)e1 Guía estándar para el uso de un probador de rayos X ([aproximadamente]fotones de 10 keV) en pruebas de efectos de radiación ionizante de dispositivos semiconductores y microcircuitos
Los circuitos electrónicos utilizados en muchos sistemas de energía espacial, militar y nuclear pueden estar expuestos a diversos niveles de dosis de radiación ionizante. Es esencial para el diseño y fabricación de dichos circuitos que se disponga de métodos de prueba que puedan determinar la vulnerabilidad o dureza (medida de no vulnerabilidad) de los componentes que se utilizarán en dichos sistemas. Actualmente, los fabricantes venden piezas semiconductoras con índices de dureza garantizados y el sistema de especificaciones militares se está ampliando para cubrir las especificaciones de dureza de las piezas. Por lo tanto, se requieren guías y métodos de prueba para estandarizar las pruebas de calificación. Se ha examinado el uso de fuentes de rayos X de baja energía (≈10 keV) como alternativa al cobalto-60 para las pruebas de los efectos de las radiaciones ionizantes en dispositivos microelectrónicos (3, 4, 5, 6). El objetivo de esta guía es proporcionar información general y orientación para dicho uso cuando corresponda. Nota 38212;Cobalto-60 La fuente de radiación ionizante más comúnmente utilizada para las pruebas de radiación ionizante (“dosis total”) es el cobalto-60. Los rayos gamma con energías de 1,17 y 1,33 MeV son la principal radiación ionizante emitida por el cobalto-60. En exposiciones que utilizan fuentes de cobalto-60, las muestras de prueba deben encerrarse en un recipiente de plomo y aluminio para minimizar los efectos de aumento de dosis causados por la radiación dispersa de baja energía (a menos que se haya demostrado que estos efectos son insignificantes). Para este contenedor de plomo y aluminio, se requiere un mínimo de 1,5 mm de plomo rodeando un blindaje interior de 0,7 a 1,0 mm de aluminio. (Ver 8.2.2.2 y Práctica E1249.) El probador de rayos X ha demostrado ser una herramienta útil para probar los efectos de la radiación ionizante porque: Ofrece una tasa de dosis relativamente alta, en comparación con la mayoría de las fuentes de cobalto-60, por lo que ofrece un tiempo de prueba reducido. . La radiación tiene una energía suficientemente baja como para poder colimarla fácilmente. Como resultado, es posible irradiar un único dispositivo sobre una oblea. Los problemas de seguridad radiológica se solucionan más fácilmente con un irradiador de rayos X que con una fuente de cobalto-60. Esto se debe tanto a la energía relativamente baja de los fotones como al hecho de que la fuente de rayos X se puede apagar fácilmente. Las instalaciones de rayos X suelen ser menos costosas que las instalaciones comparables de cobalto-60. Los principales efectos inducidos por la radiación discutidos en esta guía (deposición de energía, aumento de la dosis absorbida, recombinación de huecos de electrones) (consulte el Apéndice X1) seguirán siendo aproximadamente los mismos cuando se realicen cambios en el proceso para mejorar el rendimiento de la dureza de la radiación ionizante de una pieza. que se está produciendo. Este es el caso siempre que los espesores y composiciones de las capas del dispositivo permanezcan sustancialmente sin cambios. Como resultado de esta insensibilidad a las variables del proceso, se espera que un probador de rayos X de 10 keV sea un aparato excelente para la mejora y el control de procesos. Varios informes publicados han indicado el éxito en la intercomparación de irradiaciones de rayos X y de cobalto-60 gamma utilizando correcciones para mejorar la dosis y para la recombinación de huecos de electrones. Otros informes han indicado que la comprensión actual de los efectos físicos no es adecuada para explicar los resultados experimentales. Como resultado, no es completamente seguro que las diferencias entre los efectos de los rayos X y la irradiación gamma de cobalto-60 se comprendan adecuadamente en este momento. (Ver 8.2.1 y Apéndice X2.) Debido a esta posible falta de comprensión de la dependencia de la energía fotónica de los efectos de la radiación, si se va a utilizar un probador de rayos X de 10 keV para pruebas de calificación o pruebas de aceptación de lotes, se recomienda que tales pruebas deberían ..........
ASTM F1467-99(2005)e1 Historia
2018ASTM F1467-18 Guía estándar para el uso de un probador de rayos X (fotones de 10 keV) en pruebas de efectos de radiación ionizante de dispositivos semiconductores y microcircuitos
2011ASTM F1467-11 Guía estándar para el uso de un probador de rayos X (x2248; fotones de 10 keV) en pruebas de efectos de radiación ionizante de dispositivos semiconductores y microcircuitos
1999ASTM F1467-99(2005)e1 Guía estándar para el uso de un probador de rayos X ([aproximadamente]fotones de 10 keV) en pruebas de efectos de radiación ionizante de dispositivos semiconductores y microcircuitos
1999ASTM F1467-99(2005) Guía estándar para el uso de un probador de rayos X ([aproximadamente]fotones de 10 keV) en pruebas de efectos de radiación ionizante de dispositivos semiconductores y microcircuitos
1999ASTM F1467-99 Guía estándar para el uso de un probador de rayos X ([aproximadamente]fotones de 10 keV) en pruebas de efectos de radiación ionizante de dispositivos semiconductores y microcircuitos