ASTM F1467-99 Guía estándar para el uso de un probador de rayos X ([aproximadamente]fotones de 10 keV) en pruebas de efectos de radiación ionizante de dispositivos semiconductores y microcircuitos
1.1 Esta guía cubre los procedimientos recomendados para el uso de probadores de rayos X (es decir, fuentes con un espectro de fotones que tiene una energía fotónica media [aproximadamente] de 10 keV y una energía máxima [aproximadamente] de 50 keV) para probar dispositivos semiconductores discretos y circuitos integrados para Efectos de las radiaciones ionizantes. 1.2 El probador de rayos X puede ser apropiado para investigar la susceptibilidad de los dispositivos microelectrónicos de nivel de oblea o desligados a los efectos de las radiaciones ionizantes. No es apropiado para investigar otros efectos inducidos por la radiación, como los efectos de un solo evento (SEE) o los efectos debidos a daños por desplazamiento. 1.3 Esta guía se centra en los efectos de la radiación en elementos de circuitos de óxido metálico de silicio (MOS), ya sea diseñados (como en los transistores MOS) o parásitos (como en los elementos MOS parásitos en transistores bipolares). 1.4 Se proporciona información sobre la comparación adecuada de los resultados de dureza de la radiación ionizante obtenidos con un probador de rayos X con los resultados obtenidos con irradiación gamma de cobalto-60. Se evalúan varias diferencias en los efectos inducidos por la radiación causados por diferencias en las energías de los fotones de las fuentes de rayos X y cobalto-60 gamma. Se presentan estimaciones cuantitativas de la magnitud de estas diferencias en los efectos y otros factores que deben considerarse al establecer protocolos de prueba. 1.5 Si se va a utilizar un probador de rayos X de 10 keV para pruebas de calificación o pruebas de aceptación de lotes, se recomienda que dichas pruebas estén respaldadas por comprobaciones cruzadas con irradiaciones gamma de cobalto-60. 1.6 Las comparaciones de los resultados de dureza de la radiación ionizante obtenidos con un probador de rayos X con los resultados obtenidos con un linac, con protones, etc. están fuera del alcance de esta guía. 1.7 Se utiliza el conocimiento actual de las diferencias entre los efectos físicos causados por las irradiaciones de rayos X y gamma de cobalto-60 para proporcionar una estimación de la relación (número de agujeros-cobalto-60/(número de agujeros-X- Se definen varios casos en los que se espera que las diferencias en los efectos causados por los rayos X y los gammas de cobalto-60 sean pequeñas. Se describen otros casos en los que las diferencias podrían ser potencialmente tan grandes como un factor de cuatro. 1.8 Debería ser Se reconoce que ni los probadores de rayos X ni las fuentes gamma de cobalto 60 proporcionarán, en general, una simulación precisa del entorno de radiación de un sistema específico. El uso de cualquiera de las fuentes de prueba requerirá una extrapolación a los efectos que cabe esperar del entorno de radiación especificado. En esta guía, analizamos las diferencias entre los efectos del probador de rayos X y los efectos gamma del cobalto 60. Esta discusión debería ser útil como contexto para el problema de la extrapolación a los efectos esperados de un entorno de radiación diferente. Sin embargo, el proceso de extrapolación a los efectos esperados el entorno real se trata en otro lugar (1, 2). 1.9 La escala de tiempo de una irradiación y medición de rayos X puede ser muy diferente del tiempo de irradiación en la aplicación esperada del dispositivo. Se proporciona información sobre los efectos dependientes del tiempo. 1.10 También se analiza la posible dispersión lateral del haz de rayos X colimado más allá de la región irradiada deseada en una oblea. 1.11 Se brinda información sobre la metodología experimental recomendada, dosimetría e interpretación de datos. 1.12 Las pruebas de radiación de dispositivos semiconductores pueden producir una degradación severa de los parámetros eléctricos de los dispositivos irradiados y, por lo tanto, deben considerarse una prueba destructiva. 1.13 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
ASTM F1467-99 Historia
2018ASTM F1467-18 Guía estándar para el uso de un probador de rayos X (fotones de 10 keV) en pruebas de efectos de radiación ionizante de dispositivos semiconductores y microcircuitos
2011ASTM F1467-11 Guía estándar para el uso de un probador de rayos X (x2248; fotones de 10 keV) en pruebas de efectos de radiación ionizante de dispositivos semiconductores y microcircuitos
1999ASTM F1467-99(2005)e1 Guía estándar para el uso de un probador de rayos X ([aproximadamente]fotones de 10 keV) en pruebas de efectos de radiación ionizante de dispositivos semiconductores y microcircuitos
1999ASTM F1467-99(2005) Guía estándar para el uso de un probador de rayos X ([aproximadamente]fotones de 10 keV) en pruebas de efectos de radiación ionizante de dispositivos semiconductores y microcircuitos
1999ASTM F1467-99 Guía estándar para el uso de un probador de rayos X ([aproximadamente]fotones de 10 keV) en pruebas de efectos de radiación ionizante de dispositivos semiconductores y microcircuitos