JIS K 0164:2010
Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Método para perfilar en profundidad el boro en silicio

Estándar No.

JIS K 0164:2010

Fecha de publicación

2010

Organización

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Estado

 2023-02

Remplazado por

JIS K 0164:2023

Ultima versión

JIS K 0164:2023

JIS K 0164:2010 Documento de referencia

• JIS K 0143:2000 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente

JIS K 0164:2010 Historia

• 2023 JIS K 0164:2023 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Método para perfilar en profundidad el boro en silicio
• 2010 JIS K 0164:2010 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Método para perfilar en profundidad el boro en silicio