GB/T 15909-2009
Gas para industria electrónica-Silano (Versión en inglés)

Estándar No.
GB/T 15909-2009
Idiomas
Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación
2009
Organización
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Estado
 2017-12
Remplazado por
GB/T 15909-2017
Ultima versión
GB/T 15909-2017
Reemplazar
GB/T 15909-1995
Alcance
Esta norma especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, embalaje, marcado, almacenamiento, transporte y seguridad del gas silano. Esta norma es aplicable a la deposición epitaxial de polisilicio y silicio monocristalino, la deposición química de vapor de dióxido de silicio a baja temperatura y la deposición de películas de silicio amorfo en la industria electrónica.

GB/T 15909-2009 Documento de referencia

  • GB 11640 Cilindros de gas de aleación de aluminio sin costura*2011-12-30 Actualizar
  • GB 14193 Reglas para el llenado de cilindros de gas licuado.
  • GB 190-2009 Símbolo de embalaje de mercancías peligrosas.
  • GB 5099-1994 Cilindros de gas de acero sin costura
  • GB 7144-1999 Marca de cilindro de color para gases.
  • GB/T 3723-1999 Muestreo de productos químicos de uso industrial--Seguridad en el muestreo
  • GB/T 5832.1-2003 Determinación de la humedad en gases. Parte 1: Método electrolítico.
  • GB/T 8984-2008 Determinación de monóxido de carbono, dióxido de carbono e hidrocarburos en gases. Método cromatográfico de gases

GB/T 15909-2009 Historia




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