Esta norma especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, embalaje, marcado, almacenamiento, transporte y seguridad del gas silano. Esta norma es aplicable a la deposición epitaxial de polisilicio y silicio monocristalino, la deposición química de vapor de dióxido de silicio a baja temperatura y la deposición de películas de silicio amorfo en la industria electrónica.
GB/T 15909-2009 Documento de referencia
GB 11640 Cilindros de gas de aleación de aluminio sin costura*, 2011-12-30 Actualizar
GB 14193 Reglas para el llenado de cilindros de gas licuado.
GB 190-2009 Símbolo de embalaje de mercancías peligrosas.
GB 5099-1994 Cilindros de gas de acero sin costura
GB 7144-1999 Marca de cilindro de color para gases.
GB/T 3723-1999 Muestreo de productos químicos de uso industrial--Seguridad en el muestreo
GB/T 5832.1-2003 Determinación de la humedad en gases. Parte 1: Método electrolítico.
GB/T 8984-2008 Determinación de monóxido de carbono, dióxido de carbono e hidrocarburos en gases. Método cromatográfico de gases
GB/T 15909-2009 Historia
2017GB/T 15909-2017 Gas para la industria electrónica: silano