GB/T 24582-2009 (Versión en inglés)

Estándar No.: GB/T 24582-2009
Idiomas: Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación: 2009
Organización: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Estado: 2024-03
Remplazado por: GB/T 24582-2023
Ultima versión: GB/T 24582-2023

Alcance: Esta norma especifica el método de análisis para lixiviar impurezas metálicas de la superficie del bloque de silicio policristalino con ácido y detectar cuantitativamente trazas de impurezas metálicas en la superficie del silicio policristalino con un espectrómetro de masas de plasma acoplado inductivamente. Esta norma se aplica a la detección de metales alcalinos, metales alcalinotérreos y la primera serie de elementos de transición como sodio, potasio, calcio, hierro, níquel, cobre, zinc y otros elementos como el aluminio. Esta norma se aplica a la detección de contaminantes metálicos en la superficie de diversas varillas, bloques, granos y escamas. Debido a la forma irregular de los bloques, escamas o gránulos, es difícil medir el área con precisión. Por lo tanto, según los resultados del cálculo del peso de la muestra, el peso de la muestra utilizado es de 50 ga 300 gy el límite de detección es 0,01 ng/ml. La concentración, composición, temperatura y tiempo de lixiviación del ácido determinan la profundidad de la corrosión de la superficie y el beneficio de la lixiviación de los contaminantes de la superficie. En este método experimental se grabó menos del 1% del peso de la muestra. Esta norma se aplica a la determinación de muestras con un peso de 25 ga 5000 g. Para lograr el propósito del arbitraje, este método de prueba estipula que el peso de la muestra es de aproximadamente 300 g.

GB/T 24582-2009 Documento de referencia

ASTM D5127 Guía estándar para agua ultrapura utilizada en la industria electrónica y de semiconductores
ISO 14644-1 Salas blancas y ambientes controlados asociados - Parte 1: Clasificación de la limpieza del aire por concentración de partículas*， 2015-12-01 Actualizar
SEMI C30

2023 GB/T 24582-2023 Determinación del contenido de impurezas metálicas en la superficie de polisilicio mediante espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente y lixiviación ácida.
2009 GB/T 24582-2009 Método de prueba para medir la contaminación metálica de la superficie de silicio policristalino mediante espectrometría de masas de plasma acoplado inductivamente con extracción ácida