ASTM F1390-97
Método de prueba estándar para medir la deformación en obleas de silicio mediante escaneo automatizado sin contacto
- Estándar No.
- ASTM F1390-97
- Fecha de publicación
- 1997
- Organización
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Estado
- Remplazado por
- ASTM F1390-02
- Ultima versión
- ASTM F1390-02
- Alcance
- 1.1 Este método de prueba cubre un procedimiento no destructivo y sin contacto para determinar la deformación de obleas semiconductoras limpias y secas. 1.2 El método de prueba es aplicable a obleas de 50 mm o más de diámetro y 100 µm (0,004 pulgadas) aproximadamente o más de espesor, independientemente de la variación del espesor y el acabado de la superficie, y de la distorsión de la oblea inducida gravitacionalmente. 1.3 Este método de prueba no está destinado a medir la planitud de ninguna de las superficies de silicio expuestas. La deformación es una medida de la distorsión de la superficie media de la oblea. 1.4 Este método de prueba mide la deformación de una oblea corregida para todas las fuerzas mecánicas aplicadas durante la prueba. Por lo tanto, el procedimiento descrito da el valor ilimitado de deformación. Este método de prueba incluye un medio para cancelar la deflexión inducida por la gravedad que de otro modo podría alterar la forma de la oblea. El parámetro resultante se describe mediante Warp(2) en el Apéndice X2 Árbol de decisión de forma en la Especificación SEMI M1. (Ver Anexo A1.) Nota 1: El método de prueba F657 mide la deformación de la superficie media utilizando un plano de referencia de la superficie posterior de tres puntos. La referencia de la superficie posterior da como resultado que la variación del espesor se incluya en el valor de deformación registrado. El uso (en este método de prueba) de un plano de referencia de superficie mediana elimina este efecto. El uso (en este método de prueba) de un plano de referencia de ajuste de mínimos cuadrados reduce la variabilidad introducida en los cálculos del plano de tres puntos por la elección de la ubicación del punto de referencia. El uso (en este método de prueba) de técnicas especiales de calibración o compensación minimiza los efectos de la distorsión de la oblea inducida por la gravedad. %1,5 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse por separado como estándar. Los valores entre paréntesis son sólo para información. 1.6 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
ASTM F1390-97 Documento de referencia
ASTM F1390-97 Historia
- 1970 ASTM F1390-02
- 1997 ASTM F1390-97 Método de prueba estándar para medir la deformación en obleas de silicio mediante escaneo automatizado sin contacto
