ASTM F1724-96
Método de prueba estándar para medir la contaminación metálica de la superficie del silicio policristalino mediante espectroscopia de extracción ácida-absorción atómica

Estándar No.

ASTM F1724-96

Fecha de publicación

1996

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM F1724-01

Ultima versión

ASTM F1724-01

Alcance

1.1 Este método de prueba cubre la determinación cuantitativa de la contaminación de trazas de metales en la superficie del silicio policristalino utilizando un ácido para extraer los metales de la superficie. Luego, el contenido de metales del ácido se analiza mediante espectroscopia de absorción atómica en horno de grafito. 1.2 Este método de prueba se puede utilizar para varios tamaños de varillas, trozos, gránulos y chips, para silicio monocristalino o policristalino, para determinar los contaminantes metálicos de la superficie. Dado que el área de trozos, astillas o gránulos de forma irregular es difícil de medir con precisión, los valores se basan en el peso de la muestra. El uso de un peso de muestra de 300 g permite límites de detección al nivel de 0,1 ppbw (partes por billón de peso).1.3 La fuerza, composición, temperatura y tiempo de exposición del ácido determinan la profundidad del grabado de la superficie y la eficiencia de la extracción del contaminantes de la superficie. En este método de prueba se elimina menos del 1 % del peso de la muestra. 1.4 Este método de prueba es útil para determinar los elementos alcalinos, alcalinotérreos y elementos de transición de la primera serie, como sodio, potasio, calcio, hierro, cromo, níquel, cobre, zinc, así como otros elementos como el aluminio. La recuperación de estos elementos de la superficie de silicio se mide en más del 90 %, utilizando estándares de control agregados intencionalmente a la superficie de polisilicio.1.5 Este método de prueba sugiere un tamaño de muestra, una composición de ácido, un ciclo de grabado, un entorno de prueba y un protocolo de instrumento particulares. Se pueden utilizar variaciones en estos parámetros, pero pueden afectar la eficiencia de recuperación o la retención de metales durante el procesamiento. En la práctica, este método de prueba se utiliza para pesos de muestra de 25 a 5000 g. Para fines de evaluación, este método de prueba especifica un peso de muestra de 300 g. Este método de prueba incluye pautas para alertar al analista sobre las interferencias y variaciones resultantes en este método de prueba, e incluye métodos estándar para cuantificar e informar estas variaciones. 1.6 Este método de prueba especifica el uso de espectroscopía de absorción atómica en horno de grafito para analizar el contenido de trazas de metales. del extracto ácido. Se pueden utilizar otros instrumentos de sensibilidad equivalente, como la espectrometría de masas/plasma acoplado inductivamente. 1.7 El límite de detección y la variación del método dependen de la eficiencia del procedimiento de extracción del ácido, el tamaño de la muestra, las interferencias del método y el espectro de absorción de cada elemento. y la sensibilidad instrumental, el fondo y el valor en blanco. 1.8 Este método de prueba utiliza ácido caliente para grabar la superficie del silicio. El grabador es potencialmente dañino y debe manipularse en una campana extractora de gases de escape ácido, con sumo cuidado en todo momento. Las soluciones de ácido fluorhídrico son particularmente peligrosas y no deben ser utilizadas por nadie que no esté familiarizado con las medidas preventivas específicas y los tratamientos de primeros auxilios que se proporcionan en la Hoja de datos de seguridad del material correspondiente. 1.9 Esta norma no pretende abordar todas las preocupaciones de seguridad, si cualquiera, asociado a su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso. Los consejos de precaución específicos se dan en la Sección 9.

ASTM F1724-96 Documento de referencia

• ASTM D5127 Guía estándar para agua ultrapura utilizada en la industria electrónica y de semiconductores*， 1999-11-09 Actualizar
• ASTM E122 Práctica estándar para calcular el tamaño de la muestra para estimar, con un error tolerable especificado, el promedio de la característica de un lote o proceso*， 2000-10-10 Actualizar

ASTM F1724-96 Historia

• 1970 ASTM F1724-01
• 1996 ASTM F1724-96 Método de prueba estándar para medir la contaminación metálica de la superficie del silicio policristalino mediante espectroscopia de extracción ácida-absorción atómica