ASTM E1438-06
Guía estándar para medir anchos de interfaces en perfiles de profundidad de pulverización catódica utilizando SIMS

Estándar No.

ASTM E1438-06

Fecha de publicación

2006

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM E1438-11

Ultima versión

ASTM E1438-11(2019)

Alcance

Aunque sería deseable medir el grado de distorsión del perfil en cualquier muestra desconocida utilizando una muestra estándar y esta guía, las mediciones del ancho de la interfaz (distorsión del perfil) pueden ser únicas para cada composición de muestra (1, 2, 3).3 guía, que describe un método que determina el ancho único de una interfaz particular para el conjunto elegido de condiciones de operación. Su objetivo principal es proporcionar un método para verificar el rendimiento adecuado o consistente, o ambos, del instrumento. El análisis periódico de la misma muestra seguido de una medición del ancho de la interfaz, de acuerdo con esta guía, proporcionará estas comprobaciones. El procedimiento descrito en esta guía se adapta a cualquier muestra en capas con una interfaz entre capas en la que un elemento designado está presente en una capa y ausente en la otra. Se ha demostrado que para SIMS en particular (4, 5) y para análisis de superficies en general (6, 7), sólo métodos de calibración rigurosos pueden determinar anchos de interfaz precisos. Estos procedimientos requieren un tiempo prohibitivo. Por lo tanto, la medición del ancho de la interfaz obtenida mediante el procedimiento descrito en esta guía puede contener un error sistemático significativo (8). Por lo tanto, esta medida del ancho de la interfaz puede no tener relación con medidas similares realizadas con otros métodos. Sin embargo, esto no disminuye su uso como verificación del rendimiento adecuado o consistente del instrumento, o ambos.1.1 Esta guía proporciona al analista de SIMS un método para determinar el ancho de las interfaces a partir de datos de pulverización catódica de SIMS obtenidos de análisis de muestras en capas. Esta guía no se aplica a los datos obtenidos de análisis de muestras con marcadores delgados o muestras sin interfaces, como muestras implantadas con iones.1.2 Esta guía no describe métodos para la optimización del ancho de la interfaz o la optimización de la resolución de profundidad. Este estándar no pretenden abordar todos los problemas de seguridad, si los hubiera, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM E1438-06 Documento de referencia

• ASTM E673 Terminología estándar relacionada con el análisis de superficies

ASTM E1438-06 Historia

• 2019 ASTM E1438-11(2019) Guía estándar para medir anchos de interfaces en perfiles de profundidad de pulverización catódica utilizando SIMS
• 2011 ASTM E1438-11 Guía estándar para medir anchos de interfaces en perfiles de profundidad de pulverización catódica utilizando SIMS
• 2006 ASTM E1438-06 Guía estándar para medir anchos de interfaces en perfiles de profundidad de pulverización catódica utilizando SIMS
• 1991 ASTM E1438-91(2001) Guía estándar para medir anchos de interfaces en perfiles de profundidad de pulverización catódica utilizando SIMS
• 1991 ASTM E1438-91(1996) Guía estándar para medir anchos de interfaces en perfiles de profundidad de pulverización catódica utilizando SIMS