1.1 Esta guía proporciona al analista de SIMS un método para determinar el ancho de las interfaces a partir de datos de pulverización catódica de SIMS obtenidos de análisis de muestras en capas. Esta guía no se aplica a los datos obtenidos de análisis de muestras con marcadores finos o muestras sin interfaces, como las muestras implantadas con iones. 1.2 Esta guía no describe métodos para optimizar el ancho de la interfaz ni la optimización de la resolución de profundidad. 1.3 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
ASTM E1438-91(2001) Historia
2019ASTM E1438-11(2019) Guía estándar para medir anchos de interfaces en perfiles de profundidad de pulverización catódica utilizando SIMS
2011ASTM E1438-11 Guía estándar para medir anchos de interfaces en perfiles de profundidad de pulverización catódica utilizando SIMS
2006ASTM E1438-06 Guía estándar para medir anchos de interfaces en perfiles de profundidad de pulverización catódica utilizando SIMS
1991ASTM E1438-91(2001) Guía estándar para medir anchos de interfaces en perfiles de profundidad de pulverización catódica utilizando SIMS
1991ASTM E1438-91(1996) Guía estándar para medir anchos de interfaces en perfiles de profundidad de pulverización catódica utilizando SIMS