ASTM E1162-87(2001)
Práctica estándar para informar datos del perfil de profundidad de pulverización catódica en espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS)

Estándar No.

ASTM E1162-87(2001)

Fecha de publicación

1987

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM E1162-06

Ultima versión

ASTM E1162-11(2019)

Alcance

1.1 Esta práctica cubre la información necesaria para describir e informar la instrumentación, los parámetros de las muestras, las condiciones experimentales y los procedimientos de reducción de datos. Los perfiles de profundidad de pulverización catódica SIMS se pueden obtener utilizando una amplia variedad de condiciones de excitación del haz primario, análisis de masas, adquisición de datos y técnicas de procesamiento (1-4). 1.2 Limitaciones 8212; Esta práctica se limita a perfiles de profundidad de pulverización catódica convencionales en los que la información se promedia el área analizada en el plano de la muestra. Se excluyen las técnicas de microsonda o microscopio de iones que permiten la resolución espacial lateral de iones secundarios dentro del área analizada, por ejemplo, perfiles de profundidad de imagen. 1.3 Esta norma no pretende abordar todas las preocupaciones de seguridad, si las hubiera, asociadas con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM E1162-87(2001) Historia

• 2019 ASTM E1162-11(2019) Práctica estándar para informar datos del perfil de profundidad de pulverización catódica en espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS)
• 2011 ASTM E1162-11 Práctica estándar para informar datos del perfil de profundidad de pulverización catódica en espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS)
• 2006 ASTM E1162-06 Práctica estándar para informar datos del perfil de profundidad de pulverización catódica en espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS)
• 1987 ASTM E1162-87(2001) Práctica estándar para informar datos del perfil de profundidad de pulverización catódica en espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS)
• 1987 ASTM E1162-87(1996) Práctica estándar para informar datos del perfil de profundidad de pulverización catódica en espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS)