El uso adecuado de esta práctica puede producir aumentos calibrados con una precisión del 5 % o mejor dentro de un rango de aumento de 10 a 50 000X. El uso de muestras de calibración trazables según estándares internacionales/nacionales, como NIST-SRM 484, con esta práctica producirá aumentos con una precisión superior al 5 % en el rango calibrado de condiciones operativas. La precisión de los aumentos calibrados, o mediciones dimensionales, será peor que la precisión de la muestra de calibración utilizada con esta práctica. Para obtener una precisión cercana a la de la muestra de calibración, esta práctica debe aplicarse con las mismas condiciones operativas (voltaje de aceleración, distancia de trabajo y aumento) utilizadas para obtener imágenes de las muestras de interés. Corresponde a cada instalación que utilice esta práctica definir el rango estándar de aumento y las condiciones de operación, así como la precisión deseada para la cual se aplicará esta práctica. Las condiciones de operación estándar deben incluir aquellos parámetros que el operador puede controlar, incluidos: voltaje de aceleración, distancia de trabajo, aumento y modo de imagen. 1.1 Esta práctica cubre los procedimientos generales necesarios para la calibración de aumento de microscopios electrónicos de barrido. La relación entre el aumento verdadero y el aumento indicado es una función complicada de las condiciones operativas. Por lo tanto, esta práctica debe aplicarse a cada conjunto de condiciones operativas estándar que se utilizarán.1.2 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse como el estándar.1.3 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hubiera, asociado a su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
ASTM E766-98(2003) Historia
2019ASTM E766-14(2019) Práctica estándar para calibrar el aumento de un microscopio electrónico de barrido