ASTM F1620-96
Práctica estándar para calibrar un sistema de inspección de superficies de escaneo utilizando esferas de látex de poliestireno monodisperso depositadas en superficies de oblea pulidas o epitaxiales
- Estándar No.
- ASTM F1620-96
- Fecha de publicación
- 1996
- Organización
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Estado
- 2003-08
- Ultima versión
- ASTM F1620-96
- Alcance
- Esta norma fue transferida a SEMI (www.semi.org) en mayo de 20031.1 Esta práctica cubre la calibración del tamaño de un sistema de inspección de superficie de escaneo (SSIS) mediante la observación de la distribución de esferas de látex de poliestireno monodisperso (PSL) que han sido depositadas previamente en condiciones controladas. moda en la superficie frontal de una oblea limpia, sin patrón, pulida o epitaxial del mismo tipo que será inspeccionada por el SSIS. Nota 1: esta práctica se desarrolló principalmente para su uso en la calibración de SSIS destinados a inspeccionar obleas monocristalinas, en cuyo caso se deben utilizar obleas de silicio monocristalino desnudas previamente depositadas como obleas de calibración. La práctica también puede extenderse a la calibración de SSIS destinados a inspeccionar otros materiales, como el arseniuro de galio u otros compuestos semiconductores compuestos, en cuyo caso, se deben utilizar como obleas de calibración obleas limpias, sin patrón y pulidas del tipo a inspeccionar. También puede ser posible extender la técnica a obleas con otras superficies, como películas de óxido o silicio policristalino, pero no se han determinado las condiciones para las cuales esta extensión de la práctica podría ser válida. 1.2 Esta práctica incluye procedimientos para calibraciones de punto único y multipunto. Para la calibración de un solo punto, se utiliza una oblea, previamente depositada con esferas de PSL de un tamaño nominal único correspondiente al equivalente de esfera de látex (LSE) de los dispersores de luz localizados que se medirán con el SSIS que se está calibrando. En este último, se utiliza una serie de obleas, cada una de las cuales está predepositada con esferas de PSL de un único tamaño nominal; el rango de tamaños empleados cubre el rango sobre el cual se debe calibrar el SSIS. 1.3 El trámite deberá realizarse en un SSIS que esté ubicado en un ambiente Clase M2.5 (Clase 10) o mejor según se define en la Norma Federal 209E. 1.4 En esta práctica se pueden utilizar esferas de PSL de hasta 10 µm. La esfera PSL de tamaño más pequeño que se puede utilizar es la más pequeña que puede detectarse mediante la calibración del SSIS en las superficies de la oblea sobre las que se depositan las esferas. Nota 2: En el momento del desarrollo de esta práctica, el tamaño práctico más pequeño es 0,08 µm, pero se espera que se puedan utilizar esferas de menor tamaño a medida que se desarrolle la tecnología. 1.5 Esta práctica no cubre los procedimientos para la deposición de esferas de PSL monodispersas. Las obleas predepositadas pueden obtenerse comercialmente o prepararse de acuerdo con las buenas prácticas de laboratorio, como se resume en el Apéndice A1 de la Práctica SEMI E14. 1.6 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
ASTM F1620-96 Documento de referencia
ASTM F1620-96 Historia
- 1996 ASTM F1620-96 Práctica estándar para calibrar un sistema de inspección de superficies de escaneo utilizando esferas de látex de poliestireno monodisperso depositadas en superficies de oblea pulidas o epitaxiales
