GB/T 40109-2021
Análisis químico de superficies. Espectrometría de masas de iones secundarios. Método para perfilar en profundidad el boro en silicio. (Versión en inglés)
- Estándar No.
- GB/T 40109-2021
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 2021
- Organización
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- Ultima versión
- GB/T 40109-2021
- Alcance
- Este documento describe métodos para el perfilado de profundidad de boro en silicio utilizando un espectrómetro de masas de iones secundarios cuadrupolo o sector magnético, y métodos para la calibración de profundidad utilizando un perfilador de superficie de lápiz o un interferómetro óptico. /cm3 ~ 1×1020 a/cm3 silicio monocristalino, silicio policristalino o silicio amorfo Este documento es aplicable a muestras de silicio con un rango de concentración atómica de boro de 1×1016 at oms t oms y una profundidad de cráter de arco de pulverización catódica de 50 nm o superior.
GB/T 40109-2021 Documento de referencia
- ISO 14237:2010 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente
GB/T 40109-2021 Historia
- 2021 GB/T 40109-2021 Análisis químico de superficies. Espectrometría de masas de iones secundarios. Método para perfilar en profundidad el boro en silicio.
