GB/T 20724-2021 (Versión en inglés)

Alcance: Este documento describe un método de difracción de electrones de haz convergente para la determinación del espesor de muestras cristalinas delgadas mediante microscopía electrónica de transmisión/microscopía electrónica de transmisión de barrido. Este documento es aplicable a la determinación del espesor de muestras de cristales delgados con una dimensión lineal que oscila entre decenas de nanómetros y cientos de micras y un espesor que oscila entre decenas de nanómetros y cientos de nanómetros. Nota: Dado que el espesor de las muestras delgadas en la microscopía electrónica de transmisión a menudo no es uniforme, el espesor local de la muestra iluminada por el haz de electrones se mide mediante el método de difracción del haz convergente.

GB/T 20724-2021 Documento de referencia

GB/T 18907-2013 Análisis de microhaces. Microscopía electrónica analítica. Análisis de difracción de electrones de área seleccionada mediante un microscopio electrónico de transmisión.
GB/T 27418-2017 Guía para la evaluación y expresión de la incertidumbre en la medición.
ISO 15932:2013 Análisis de microhaces. Microscopía electrónica analítica. Vocabulario

2021 GB/T 20724-2021 Análisis de microhaz: método de medición del espesor de cristales delgados mediante difracción de electrones de haz convergente.
2006 GB/T 20724-2006 Método de medición del espesor de cristales delgados mediante difracción de electrones de haz convergente.