KS C 6520-2021
Componentes y materiales del proceso semiconductor. Medición de las características de desgaste por plasma.

Estándar No.

KS C 6520-2021

Fecha de publicación

2021

Organización

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Ultima versión

KS C 6520-2021

KS C 6520-2021 Historia

• 2021 KS C 6520-2021 Componentes y materiales del proceso semiconductor. Medición de las características de desgaste por plasma.
• 2019 KS C 6520-2019 Componentes y materiales del proceso semiconductor. Medición de las características de desgaste por plasma.
• 2008 KS C 6520-2008 Componentes y materiales del proceso semiconductor－Medición de las características de desgaste por plasma.