ASTM E986-04(2017)
Práctica estándar para la caracterización del tamaño del haz del microscopio electrónico de barrido

Estándar No.

ASTM E986-04(2017)

Fecha de publicación

2017

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Ultima versión

ASTM E986-04(2017)

Alcance

1.1 Esta práctica proporciona un medio reproducible mediante el cual se puede caracterizar un aspecto del rendimiento de un microscopio electrónico de barrido (SEM). La resolución de un SEM depende de muchos factores, algunos de los cuales son el voltaje y la corriente del haz de electrones, las aberraciones de la lente, el contraste en la muestra y la interacción operador-instrumento-material. Sin embargo, la resolución para cualquier conjunto de condiciones está limitada por el tamaño del haz de electrones. Este tamaño se puede cuantificar mediante la medición del filo aparente efectivo del borde para varios materiales, dos de los cuales se sugieren. Esta práctica requiere un SEM con la capacidad de realizar trazas de escaneo de líneas, por ejemplo, generación de formas de onda de desviación Y, para los materiales sugeridos. El rango de aumento SEM en el que esta práctica resulta útil es de 1000 a 50 000 ×. Se pueden intentar aumentos mayores, pero cabe esperar dificultades para realizar mediciones precisas. 1.2 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hubiera, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso. 1.3 Esta norma internacional fue desarrollada de acuerdo con los principios internacionalmente reconocidos sobre estandarización establecidos en la Decisión sobre Principios para el Desarrollo de Normas, Guías y Recomendaciones Internacionales emitida por el Comité de Obstáculos Técnicos al Comercio (OTC) de la Organización Mundial del Comercio.

ASTM E986-04(2017) Documento de referencia

• ASTM E7 Terminología estándar relacionada con la metalografía*， 2022-10-01 Actualizar
• ASTM E766 Práctica estándar para calibrar el aumento de un microscopio electrónico de barrido

ASTM E986-04(2017) Historia

• 2017 ASTM E986-04(2017) Práctica estándar para la caracterización del tamaño del haz del microscopio electrónico de barrido
• 2004 ASTM E986-04(2010) Práctica estándar para la caracterización del tamaño del haz del microscopio electrónico de barrido
• 2004 ASTM E986-04 Práctica estándar para la caracterización del tamaño del haz del microscopio electrónico de barrido
• 1997 ASTM E986-97 Práctica estándar para la caracterización del tamaño del haz del microscopio electrónico de barrido