IEC TS 62607-6-6:2021
Nanofabricación - Características de control clave - Parte 6-6: Grafeno - Uniformidad de deformación: espectroscopía Raman

Estándar No.

IEC TS 62607-6-6:2021

Fecha de publicación

2021

Organización

International Electrotechnical Commission (IEC)

Ultima versión

IEC TS 62607-6-6:2021

Remplazado por

IEC 113/579/DTS:2021

Alcance

Esta parte de IEC 62607 establece un método estandarizado para determinar la uniformidad de deformación de la característica de control estructural clave para grafeno de una sola capa mediante; Espectroscopía Raman. Se analiza el ancho del pico 2D en el espectro Raman para calcular el parámetro de uniformidad de deformación.

IEC TS 62607-6-6:2021 Historia

• 2021 IEC TS 62607-6-6:2021 Nanofabricación - Características de control clave - Parte 6-6: Grafeno - Uniformidad de deformación: espectroscopía Raman