Esta especificación especifica los requisitos generales, las normas de garantía de calidad, la preparación de entrega y las instrucciones para las máquinas pulidoras químicas mecánicas (en adelante, equipos). Esta especificación se aplica al diseño, producción, inspección, aceptación y pedido de máquinas pulidoras químicas mecánicas en el proceso de microensamblaje de película delgada y proceso de pulido de obleas de silicio. También se pueden implementar otros equipos de proceso de fabricación de microensamblajes o equipos similares en otras industrias. con referencia.
SJ 21127-2016 Documento de referencia
GB 2894-2008 Señales de seguridad y pautas de uso.