ISO 13083:2015

Estándar No.

ISO 13083:2015

Fecha de publicación

2015

Organización

International Organization for Standardization (ISO)

Ultima versión

ISO 13083:2015

Alcance

Esta norma internacional describe un método para medir la resolución espacial (lateral) de microscopios de capacitancia de barrido (SCM) o microscopios de resistencia de dispersión y barrido (SSRM), que se utilizan ampliamente para obtener imágenes de la distribución de portadores y otras propiedades eléctricas en dispositivos semiconductores. El método implica el uso de un artefacto con bordes afilados.

ISO 13083:2015 Documento de referencia

• ISO 18115-2:2013 Análisis químico de superficies. Vocabulario. Parte 2: Términos utilizados en microscopía de sonda de barrido.
• ISO 18516:2006 Análisis químico de superficies - Espectroscopia de electrones Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X - Determinación de la resolución lateral

ISO 13083:2015 Historia

• 2015 ISO 13083:2015