Esta norma especifica los parámetros de rendimiento más importantes que caracterizan las características de los espectrómetros de energía de rayos X (EDS) que se basan en detectores semiconductores, preamplificadores y sistemas de procesamiento de señales. Esta norma se aplica únicamente a los espectrómetros de energía con detectores de semiconductores basados en el principio de ionización de estado sólido. Esta norma especifica los requisitos mínimos y los métodos de verificación para los parámetros de rendimiento del EDS utilizados junto con la microscopía electrónica de barrido (SEM) o la sonda electrónica (EPMA). En cuanto al proceso de análisis propiamente dicho, ya especificado en las normas ISO 22309 y ASTM E1508, queda fuera del alcance de esta norma.
GB/T 20726-2015 Documento de referencia
GB/T 21636-2008 Análisis de microhaces. Microanálisis con sonda electrónica (EPMA). Vocabulario