ISO 14644-12:2018
Salas limpias y entornos controlados asociados. Parte 12: Especificaciones para monitorear la limpieza del aire mediante concentración de partículas a nanoescala.
- Estándar No.
- ISO 14644-12:2018
- Fecha de publicación
- 2018
- Organización
- International Organization for Standardization (ISO)
- Ultima versión
- ISO 14644-12:2018
- Alcance
- Este documento cubre el monitoreo de la limpieza del aire por partículas en términos de concentración de partículas a nanoescala en el aire. A efectos de seguimiento, sólo se consideran poblaciones de partículas con un límite de tamaño inferior de 0,1 micras (100 nm) o menos («nanoescala»). El monitoreo proporcionado en este documento es para uso principalmente en estados "operativos". NOTA 1 A los efectos de este documento, se hace referencia a “partículas a nanoescala”, lo que significa todos los nanoobjetos que tienen una (nanoplaca), dos (nanofibra) o tres (nanopartículas) dimensiones en la nanoescala. NOTA 2 Como consecuencia, las especificaciones para monitorear la limpieza del aire mediante la concentración de partículas a nanoescala de la sala limpia en estado operativo también consideran aspectos específicos del proceso, por ejemplo, equipos usados, comportamiento del personal, etc. NOTA 3 Las consideraciones de salud y seguridad están excluidas de este documento.
ISO 14644-12:2018 Historia
- 2018 ISO 14644-12:2018 Salas limpias y entornos controlados asociados. Parte 12: Especificaciones para monitorear la limpieza del aire mediante concentración de partículas a nanoescala.
