ISO 21360-4:2018 Tecnología de vacío. Métodos estándar para medir el rendimiento de las bombas de vacío. Parte 4: Bombas de vacío turbomoleculares. normas y especificaciones

Alcance: Este documento, junto con la norma ISO 21360-1, especifica métodos para la medición de las características de rendimiento de las bombas de vacío turbomoleculares. Es aplicable a todos los tamaños y tipos de bombas de vacío turbomoleculares, incluidas aquellas con cojinetes mecánicos o magnéticos; 　——con o sin etapa(s) de arrastre adicionales u otras etapas de bombeo en el eje; 　——con uno o más puertos de entrada. Dado que las bombas de vacío turbomoleculares están respaldadas por bombas primarias, su rendimiento no puede definirse completamente mediante la curva de caudal volumétrico. Además, el dispositivo impulsor y la contrapresión de la bomba de vacío turbomolecular son importantes para el rendimiento. Las características de rendimiento se completan con lo siguiente: 　——información sobre el rendimiento y la contrapresión de la bomba de vacío turbomolecular; 　——la curva de relación de compresión (relación de compresión frente a presión de respaldo de la bomba de vacío turbomolecular).

ISO 21360-4:2018 Documento de referencia

ISO 21360-1:2012 Tecnología de vacío. Métodos estándar para medir el rendimiento de la bomba de vacío. Parte 1: Descripción general.

2018 ISO 21360-4:2018 Tecnología de vacío. Métodos estándar para medir el rendimiento de las bombas de vacío. Parte 4: Bombas de vacío turbomoleculares.