Esta norma especifica el método de medición de la densidad de picaduras de corrosión (EPD) de obleas pulidas de arseniuro de galio (GaAs) de baja densidad de dislocación. Esta norma es aplicable a la medición de la DEP de obleas circulares de GaAs con un diámetro de 2 y 3 pulgadas y una DEP inferior a 5 000/cm.
SJ/T 11490-2015 Documento de referencia
GB/T 8760-2006 Determinación de la densidad de dislocaciones en monocristal de arseniuro de galio