Esta norma especifica el método de medición para la densidad de picaduras de corrosión (EPD) de láminas pulidas de fosfuro de indio (InP) de baja densidad de dislocación. Esta norma es aplicable a la medición de la DEP de obleas circulares de InP con un diámetro de 2 pulgadas y una DEP inferior a 5 000/cm.
SJ/T 11489-2015 Documento de referencia
GB/T 14264 Materiales semiconductores-Términos y definiciones