GOST 8.593-2009 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones. Microscopios de sonda de barrido de fuerza atómica. Método de verificación
GOST 8.591-2009 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones. Medida de relieve en rango nanométrico con perfil trapezoidal de elementos. Método de verificación
GOST 8.592-2009 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones. Medidas de relieve de rango nanométrico de silicio monocristalino. Formas geométricas, tamaño lineal y requisitos de materiales de fabricación.
GOST ISO 14644-1-2002 Salas blancas y ambientes controlados asociados. Parte 1. Clasificación de la limpieza del aire.
GOST 8.593-2009 Historia
2009GOST 8.593-2009 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones. Microscopios de sonda de barrido de fuerza atómica. Método de verificación