GB/T 32281-2015
Método de prueba para medir oxígeno, carbono, boro y fósforo en obleas y materias primas de silicio solar. Espectrometría de masas de iones secundarios (Versión en inglés)

Estándar No.
GB/T 32281-2015
Idiomas
Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación
2015
Organización
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión
GB/T 32281-2015
Alcance
Esta norma especifica el método de detección de espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS) para el contenido de oxígeno, carbono, boro y fósforo en obleas y materiales de silicio de grado solar. Esta norma se aplica a la detección del contenido volumétrico de oxígeno, carbono, boro y fósforo en obleas de silicio monocristalino o policristalino de grado solar o materiales de silicio que no cambian con la profundidad y no consideran compensación. El límite de detección del contenido del cuerpo de cada elemento es 0,2% (es decir,

GB/T 32281-2015 Documento de referencia

  • ASTM E673 Terminología estándar relacionada con el análisis de superficies
  • GB/T 14264 Materiales semiconductores-Términos y definiciones
  • GB/T 2828.1 Procedimiento de inspección por muestreo de conteo, parte 1: Plan de muestreo de inspección lote por lote recuperado por el límite de calidad de aceptación (AQL)

GB/T 32281-2015 Historia

  • 2015 GB/T 32281-2015 Método de prueba para medir oxígeno, carbono, boro y fósforo en obleas y materias primas de silicio solar. Espectrometría de masas de iones secundarios



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