GB/T 32281-2015 Método de prueba para medir oxígeno, carbono, boro y fósforo en obleas y materias primas de silicio solar. Espectrometría de masas de iones secundarios (Versión en inglés)
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión
GB/T 32281-2015
Alcance
Esta norma especifica el método de detección de espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS) para el contenido de oxígeno, carbono, boro y fósforo en obleas y materiales de silicio de grado solar. Esta norma se aplica a la detección del contenido volumétrico de oxígeno, carbono, boro y fósforo en obleas de silicio monocristalino o policristalino de grado solar o materiales de silicio que no cambian con la profundidad y no consideran compensación. El límite de detección del contenido del cuerpo de cada elemento es 0,2% (es decir,
GB/T 32281-2015 Documento de referencia
ASTM E673 Terminología estándar relacionada con el análisis de superficies
GB/T 14264 Materiales semiconductores-Términos y definiciones
GB/T 2828.1 Procedimiento de inspección por muestreo de conteo, parte 1: Plan de muestreo de inspección lote por lote recuperado por el límite de calidad de aceptación (AQL)
GB/T 32281-2015 Historia
2015GB/T 32281-2015 Método de prueba para medir oxígeno, carbono, boro y fósforo en obleas y materias primas de silicio solar. Espectrometría de masas de iones secundarios