BS EN 62047-17:2015
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Método de prueba de abultamiento para medir las propiedades mecánicas de películas delgadas.
- Estándar No.
- BS EN 62047-17:2015
- Fecha de publicación
- 2015
- Organización
- British Standards Institution (BSI)
- Ultima versión
- BS EN 62047-17:2015
BS EN 62047-17:2015 Documento de referencia
- EN 62047-2:2006 Dispositivos semiconductores Dispositivos microelectromecánicos Parte 2: Método de prueba de tracción de materiales de película delgada
BS EN 62047-17:2015 Historia
- 2015 BS EN 62047-17:2015 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Método de prueba de abultamiento para medir las propiedades mecánicas de películas delgadas.
