YS/T 1025-2015 Objetivo de pulverización catódica de tungsteno y aleación de tungsteno de alta pureza utilizado en películas electrónicas (Versión en inglés)
Esta norma especifica los requisitos, métodos de prueba, reglas y marcas de inspección, embalaje, transporte, almacenamiento, pedidos (o contratos), etc. para objetivos de pulverización catódica de tungsteno y aleaciones de tungsteno de alta pureza para películas delgadas electrónicas. Esta norma se aplica a los objetivos de pulverización catódica de tungsteno y aleaciones de tungsteno de alta pureza para películas delgadas electrónicas, en lo sucesivo denominados objetivos de tungsteno y aleaciones de tungsteno de alta pureza.
YS/T 1025-2015 Historia
2015YS/T 1025-2015 Objetivo de pulverización catódica de tungsteno y aleación de tungsteno de alta pureza utilizado en películas electrónicas