Esta norma especifica el método de inspección visual para la calidad de la superficie de las obleas pulidas de un solo cristal de carburo de silicio (en lo sucesivo denominadas "obleas pulidas"). Esta norma es aplicable a la detección de la calidad de la superficie de obleas pulidas de carburo de silicio pulido de una o dos caras.
SJ/T 11504-2015 Historia
2015SJ/T 11504-2015 Método de prueba para medir la calidad de la superficie de carburo de silicio monocristalino pulido