SJ/T 11503-2015 (Versión en inglés)

Alcance: Esta norma especifica métodos para probar la rugosidad de la superficie de obleas pulidas de un solo cristal de carburo de silicio, incluida la perfilometría de la superficie y la microscopía de fuerza atómica. Esta norma es aplicable a la prueba de rugosidad de la superficie de obleas pulidas de un solo cristal de carburo de silicio. Entre ellos, el método de microscopía de fuerza atómica solo es aplicable a obleas pulidas de un solo cristal de carburo de silicio que han sido pulidas químicamente mecánicamente u ópticamente y tienen fluctuaciones de rugosidad superficial en el rango de unas pocas décimas de nanómetro a unas pocas micras.

SJ/T 11503-2015 Historia

2015 SJ/T 11503-2015 Métodos de prueba para medir la rugosidad de la superficie de obleas de carburo de silicio monocristalino pulidas