Esta especificación especifica los términos y definiciones, grados, requisitos, métodos de prueba, reglas de inspección, embalaje, marcado, almacenamiento y transporte de obleas pulidas de carburo de silicio monocristalino. Esta especificación se aplica a las obleas pulidas de un solo cristal de carburo de silicio con formas cristalinas 6H y 4H, pulido de una o dos caras y diámetros de 100 mm e inferiores. Se pueden utilizar como referencia obleas de pulido de monocristal de carburo de silicio de otras formas o tamaños de cristal.
SJ/T 11502-2015 Historia
2015SJ/T 11502-2015 Especificación para obleas de carburo de silicio monocristalino pulido