SJ/T 11498-2015
Método de prueba para medir la contaminación por oxígeno en sustratos de silicio fuertemente dopados mediante espectrometría de masas de iones secundarios (Versión en inglés)

Estándar No.

SJ/T 11498-2015

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2015

Organización

Professional Standard - Electron

Ultima versión

SJ/T 11498-2015

Alcance

Esta norma especifica el método de prueba para la concentración total de oxígeno en monocristales de sustratos de silicio fuertemente dopados mediante espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS). Esta norma se aplica a las concentraciones dopantes de boro, antimonio, arsénico y fósforo.

SJ/T 11498-2015 Historia

• 2015 SJ/T 11498-2015 Método de prueba para medir la contaminación por oxígeno en sustratos de silicio fuertemente dopados mediante espectrometría de masas de iones secundarios