Esta norma especifica pautas para los factores de conversión de oxígeno intersticial en silicio. Este estándar es adecuado para probar el contenido de oxígeno intersticial en monocristales de silicio tipo n con una resistividad superior a 0,1 Ω·cm y monocristales de silicio tipo p con una resistividad superior a 0,5 Ω·cm a temperatura ambiente.
SJ/T 11495-2015 Historia
2015SJ/T 11495-2015 Guía de factores de conversión para oxígeno intersticial en silicio.