SJ/T 11493-2015
Método de prueba para medir la concentración de nitrógeno en sustratos de silicio mediante espectrometría de masas de iones secundarios (Versión en inglés)

Estándar No.

SJ/T 11493-2015

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2015

Organización

Professional Standard - Electron

Ultima versión

SJ/T 11493-2015

Alcance

Esta norma especifica el método de prueba para la concentración de nitrógeno total en materiales monocristalinos sobre sustratos de silicio mediante espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS). Esta norma se aplica a las concentraciones dopantes de antimonio, arsénico y fósforo.

SJ/T 11493-2015 Historia

• 2015 SJ/T 11493-2015 Método de prueba para medir la concentración de nitrógeno en sustratos de silicio mediante espectrometría de masas de iones secundarios