SJ/T 11491-2015 (Versión en inglés)

Alcance: Esta norma especifica la determinación del contenido de oxígeno intersticial en silicio mediante espectroscopia infrarroja de línea de base corta. Este estándar es adecuado para medir el contenido de oxígeno intersticial en monocristales de silicio tipo n y monocristales de silicio tipo p con baja resistividad utilizando el método de absorción infrarroja de línea de base corta a temperatura ambiente. Una prueba que mide el contenido de oxígeno en el rango efectivo desde 1 × 10 at · cm hasta la máxima solubilidad sólida del oxígeno intersticial en monocristales de silicio.

SJ/T 11491-2015 Historia

2015 SJ/T 11491-2015 Métodos de prueba para medir el contenido de oxígeno intersticial en silicio mediante espectrometría de absorción infrarroja de línea de base corta